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ASW-4在线荧光法溶解氧分析仪采用荧光法替代传统的膜式电极，不用更换膜片和电解液，从而减少了维护工作量，提高了工作可靠性，特别适用于污水处理领域恶的工况。荧光法溶解氧仪是基于物理学中特定物质对活性荧光的猝熄原理，传感器前端的荧光物质是特殊的铂金属卟啉复合了允许气体子通过的聚酯箔片，表面涂了一层黑色的隔光材料以避免日光和水中其它荧光物质的干扰。调制的绿光照到荧光物质上使其激发，并发出红光，由于氧分子可以带走能量（猝熄效应），所以激发红光的时间和强度与氧分子的浓度成反比。
洁净室的气流速度/换气次数，一直是洁净室设计中受到关注的问题，随着洁净室污染源的控制效果增加及末级过滤器效率的提高等，对有关规范、导则等提出的推荐或参考值是否偏于保守，已有不少讨论;FFU在应用中人们担心的噪音、损坏维修等问题已在实践中得到解决，随着FFU的不断改进，对是否采用FFU回风系统也是个热点：悬浮分子污染(AMC)的控制在微电子及IC工业中已日益提到日程上来，受到关注。以下对这些问题的情况分别作归纳和分析。